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학술대회자료
저자정보
배만수 (한국기계연구원) 김경한 (한국기계연구원) 박진호 (한국기계연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2017년도 학술대회
발행연도
2017.11
수록면
1,733 - 1,738 (6page)

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In this paper, we study laser processing on silicon nitride(Si3N4) material using femtosecond laser and nanosecond laser. It is aimed to investigate ablation characteristic with various laser process conditions, such as laser average power, machining speed, machining times, Roughness and hole tapering. The quality of ablated surface of the silicon nitride was evaluated with microscope and roughness measuring instrument. Nanosecond laser occur heat affect zone. But femtosecond laser not occur heat affect zone. In addition, tapering can be reduced by optimizing the machining path and edge roundness can be improved.
#Ceramics #Si₃N₄ #Femtosecond laser #Nanosecond laser #ablation #Drilling

목차

Abstract
1. 서론
2. Experimental
3. Result
4. Conclusion
참고문헌

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