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양서진 (부산대학교) 김지웅 (부산대학교) 송세환 (부산대학교) 이두용 (부산대학교) 주태성 (부산대학교) 배종성 (한국기초과학지원연구원) 박성균 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제54회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2018.2
수록면
289 - 289 (1page)

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