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우대성 (부경대학교) 김병국 (부경대학교) 니코 에벤디 (부경대학교) 스프리아누스 소니 푸트라 (부경대학교) 김경준 (부경대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 신뢰성부문 2018년도 학술대회
발행연도
2018.2
수록면
112 - 112 (1page)

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#Annealing Unit(어닐링 유닛) #Semiconductor Manufacturing(반도체 제조용) #Transient(과도) #Thermal Performance(열 성능) #Parametric Conditions(매개변수 조건)

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