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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.6
- 수록면
- 20 - 26 (7page)
- DOI
- 10.15231/jksc.2018.23.2.020
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Experimental study has been carried out to investigate combustion and emission characteristics in horizontally stacked SiC porous media with various pore structures and equivalence ratio conditions. Based on preliminary results from flame visualization and stabilization experiments with SiC porous media, porous-media burner was fabricated for processing NF₃ thermally. The porous-media burner is composed of two layer structures: alumina ball layer and SiC porous media layer which initiates excess enthalpy combustion. To describe the degree of flame stability, we defined three regimes such as porous combustion, surface combustion, and blow-off. For the equivalence ratio of 0.7, NOx and CO were emitted at 4.6 ppm and 0.9 ppm respectively in normal state operation. However, in process state operation, NOx and CO increased up to 160.8 ppm and 348.1 ppm respectively for the equivalence ratio of 0.52 due to NOx formation from NH₃ decomposition process and the quenching reaction caused by partial N₂ flowing into the porous media.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (11)
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[단행본] - Korea Clean System / 2011 / Development of Advanced Eco-Friendly Treatment System for Reducing the NOx, CO, and Greenhouse Gases Emission in Semiconductor Processing
[학술지(정기간행물)] - 이채홍 / 2010 / 과불화탄소 제거를 위한 플라즈마 워터젯 스크러버 개발 / 한국대기환경학회지 26 (6) : 624 ~ 632
[학술대회논문] - G.T. Lee / 2012 / Pyrolysis Characteristics Evaluation of $NF_3$ at Semiconductor Process / KSWM Spring Conference : 345 ~ 347
[학술지(정기간행물)] - 류재용 / 2012 / 전자빔 기술을 이용한 반도체 공정의 삼불화질소(NF3) 분해 / 대한환경공학회지 34 (6) : 391 ~ 396
[학술대회논문] - S.K. Jo / 2015 / Preliminary Study on Plasma-Assisted Catalytic Reactor for PFCs Removal / KSME Fall Conference : 3743 ~ 3745
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[학술대회논문] - G.T. Lee / 2012 / Pyrolysis Characteristics Evaluation of
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