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이종훈 (한국에너지기술연구원) 이정인 (한국에너지기술연구원) 강민구 (한국에너지기술연구원) 박성은 (한국에너지기술연구원) 박진성 (한양대학교) 송희은 (한국에너지기술연구원)
저널정보
한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 학술대회논문집 한국태양에너지학회 2018년도 춘계학술발표대회 [초록집]
발행연도
2018.4
수록면
125 - 125 (1page)

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#PA-ALD(플라즈마 원자층 증착) #Al2O3(알루미늄옥사이드) #Low illumination(저조도) #C-V(Capacitance-Voltage) #G-V(Conductance-Voltage)

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