ArF용 레지스트에 사용 가능한 Alicyclic group을 함유한 공중합체의 합성

김춘기 ,  김동국 ,  허정림

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

ArF Excimer Laser Lithography

Masa ,  u Sasago

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

The Optical System for ArF Excimer Laser Exposure Tool

정해빈 ,  이각현 ,  김도훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ArF Excimer Laser용 광학계의 Tolerancing

이각현 ,  정해빈 ,  유현준

광학세계

1994 .01

Silicon Containing Positive Resist for ArF Excimer Laser Lithography

이해원 ,  김영대 ,  강영종 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .10

Silicon Containing Photoresists for ArF Excimer Laser Lithography

Young Dae Kim ,  Sang Jin Pa ,  k 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

지방족고리 구조를 함유하는 감광성 폴리이미드 수지의 합성 및 특성 평가

심종천 ,  최성묵 ,  심현보 외 2명

폴리머

2004 .11

ArF Single Layer Resist Composed of Alicyclic Main Chain Containing Maleic Anhydride

Jae Chang Jung ,  Cheol Kyu Bok ,  백기호

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

몇 가지 새로운 감광성 고분자의 합성과 특성

김우식

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

Photochemical Deposition of Silicon and SiC Thin Film Using ArF Excimer Laser

Koichi Toyoda ,  Toshihi ,  o Taguchi

TENCON 87 - Computers and Communications Technology Toward 2000

1997 .01

Chemically Amplified Positive Resists for ArF Excimer Laser Lithography

강영종 ,  이해원 ,  김웅렬 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .04

Chemically Amplified Positive Resists for ArF Excimer Laser Lithography

안성남 ,  강영종 ,  이해원 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1996 .10

Fabrication of White Light Source in Micron Size on Silicone Rubber by ArF Excimer Laser

Masayuki Okoshi ,  Minako Iyono ,  Na 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

유기포스파젠 감광성수지의 합성과 물성

안광덕 ,  김은영 ,  김철희

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1983 .04

유기포스파젠 감광성수지의 합성과 물성 Ⅱ

안광덕 ,  김은영 ,  김철희

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1983 .10

Chemically Amplified Photoresists for ArF Excimer Laser Lithography

김영대 ,  강영종 ,  이해원

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

감광성 고분자의 합성과 응용에 관한 연구

김우식

고분자 과학과 기술

2003 .10

Positive 형 novolac 계수지를 이용한 PS 판용 감광성 수지의 합성및 특성평가

채은숙 ,  허정림 ,  황찬 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1996 .10

ArF Excimer Laser를 사용한 가스센서 ZnO와 $WO_3$ 박막의 제작 및 특성 측정

강준희 ,  오철민

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

자기증감형 감광성수지의 합성과 감광특성 (2)

유재근 ,  장원석 ,  김우식

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1993 .04