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저자정보
김종일 (목원대학교) 김기출 (목원대학교)
저널정보
한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제19권 제10호
발행연도
2018.10
수록면
1 - 7 (7page)

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이산화주석은 리튬 이온 전지의 Anode 전극물질, 또는 H₂, NO, NO₂ 등의 가스 분자가 표면에 흡착되면 전기저항이 변하는 특성을 이용하여 가스센서로 활용되고 있으며, 나노구조를 갖는 이산화주석의 합성과 관련하여 많은 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 나노구조물의 경우 Bulk 상태보다 체적 대비 표면적비가 높기 때문에 기체분자의 흡착확률을 높일 수 있으므로 고감도 가스 센서의 구현이 가능하고, Li-ion 이차전지의 경우에도 비정전용량을 향상시킬 수 있다. 본 연구에서는 열화학기상증착 장비를 이용하여 기상수송방법으로 SnO₂ 나노구조물을 Si 기판 위에 직접 성장시켰다. 이때 이송가스로 이용되는 고순도 Ar 가스에 고순도 산소가스를 혼합하였고, 산소가스의 혼합량에 따라 다른 형태의 산화주석 나노구조물이 성장되는 것을 확인하였다. 기상수송방법으로 성장된 산화주석 나노구조물의 결정학적 특성은 Raman 분광학 및 XRD 분석을 통하여 확인하였고, 표면형상을 주사전자현미경을 통하여 확인하였다. 분석결과 산화주석 나노구조물은 산소가스 혼합량에 민감하게 영향을 받았으며, 이송가스로 이용되는 고순도 Ar 1000 SCCM에 고순도 산소가스 10 SCCM을 혼합하였을 때, 적당한 두께를 가지면서 Nanodots 형태의 표면형상을 갖는 SnO₂ 결정상의 나노구조물이 성장되는 것을 확인하였다.
#tin dioxide #nanostructure #vapor transport method #chemical vapor deposition #oxygen flow rate

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (18)

참고문헌 신청
J. H. Kim, K. M. Jeon, J. S. Park, Y. C. Kang, “Excellent Li-ion storage performances of hierarchical SnO-SnO2 composite powders and SnO nanoplates prepared by one-pot spray pyrolysis”, Journal of Power Sources, Vol.359, pp.363-370, 2017. DOI: https://dx.doi.org/10.1016/j.jpowsour.2017.05.105 J. H. Shin, J. Y. Song, “Electrochemical properties of Sn-decorated SnO nanobranches as an anode of Li-ion battery”, Nano Convergence, Vol.3, No.1, Aritlcle ID 9, 2016. DOI: https://dx.doi.org/10.1186/s40580-016-0070-1 L. Zhang, H. B. Wu, X. W. Lou, “Growth of SnO2 nanosheet arrays on various conductive substrates as integrated electrode for lithium-ion batteries”, Materials Horizons, Vol.1, pp.133-138, 2014. DOI: https://dx.doi.org/10.1039/C3MH00077J S. Maeng, S. W. Kim, D. H. Lee, S. E. Moon, K. C. Kim, A. Maiti, “SnO2 Nanoslab as NO2 Sensor: Identification of the NO2 Sensing Mechanism on a SnO2 Surface”, ACS Applied Materials and Interfaces, Vol.6, No.1, pp.357-363, 2014. DOI: https://dx.doi.org/10.1021/am404397f L. Mei, Y. Chen. J. Ma, “Gas Sensing of SnO2 Nanocrystals Revisited: Developing Ultra-Sensitive Sensors for Detecting the H2S Leakage of Biogas”, Scientific Reports, Vol.4, Article No.6028, 2014. DOI: https://dx.doi.org/10.1038/srep06028

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