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CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Effects of CF4 Plasma Treatment on Characteristics of Enhancement Mode AlGaN/GaN High Electron Mobility Transistors
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
UV 광흡수법을 이용한 C4F8/Ar 유도결합플라즈마의 CF2 절대밀도 공간분포진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
[RE100으로 가는 길 ①] RE100 보완하는 CF100, 수소의 유연함에 주목한다
월간수소경제
2023 .08
Development of methodology for Individual control of ion and radical in dual freqeuncy(13.56 ㎒ + 400 ㎑) pulsed Ar/CF₄/O₂ plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Preparation and characterization of carbon fiber-reinforced thermosetting composites: a review
Carbon letters
2015 .01
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
축전 결합형 C₄F₈/Ar 플라즈마 내에서 웨이퍼 두께에 따른 쉬스 렌즈 효과 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
워터젯 플라즈마 스크러버 사불화탄소 분해 특성
한국기후변화학회지
2017 .03
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Study on the Etching properties by using Inductively Coupled CF₄/C₄F8/O₂ & CF₄/CBr₂F₂/O₂ plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Mechanical and electrical properties of cement paste incorporated with pitch-based carbon fiber
Carbon letters
2017 .01
Effects of Chamber Wall Contamination Levels on Plasma Properties in Long-Term C₄F8/Ar Plasma Deposition Processes
Applied Science and Convergence Technology
2024 .11
Ar/NF3 혼합가스 Remote plasma source에서의 플라즈마 밀도 측정 및 Si/SiO₂ 식각률 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
CF₄/O₂ 가스를 사용한 평판 디스플레이 식각용 대면적 유도 결합 플라즈마의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
CF₄/O₂ 혼합가스 플라즈마 환경에 대한 AAO (Anodic Aluminum oxide) 피막의 오염입자 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
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