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캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
ICP etching 시스템의 RF bias 전극에서 측정된 전기적 특성과 플라즈마 파라미터와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 질화된 오스테나이트스테인리스강의 표면에 형성된 층에 따른 인장강도의 변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
전자 에너지분포함수 비교를 통한 플라즈마 데이터베이스 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
고조화파 프로브 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 표면처리를 통한 AgNW 전기적특성 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
유도 결합 플라즈마에서 웨이퍼 표면의 부유 전위 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
What do we know about plasma?
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
마이크로웨이브 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 기술의 상업화 사례
진공이야기
2018 .12
정전척에서의 신호 변화를 이용한 웨이퍼 부하 및 플라즈마 부하 측정 시스템
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 분광 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
ICP etching 시스템의 RF bias 전극에서 측정된 전기적 특성과 공정변수와의 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
초고속 전자 온도 측정법 개발을 통한 전자 온도의 이방성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
금속 나노입자의 국부화된 표면 플라즈몬 공명 효과를 이용한 유기발광소자의 외부양자효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
GK-2A 위성자료를 이용한 지표면 온도와 대기온도의 관계성 분석 및 검증
한국기상학회 학술대회 논문집
2022 .10
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