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저자정보
양현덕 (광주과학기술원) 강준현 (경희대학교) 송진동 (한국과학기술연구원) 한일기 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제55회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2018.8
수록면
178 - 178 (1page)

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