메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
윤종혁 (고등기술연구원) 송형운 (고등기술연구원) 김영배 (고등기술연구원)
저널정보
대한기계학회 기술과 교육 대한기계학회논문집 C권 제7권 제1호
발행연도
2019.3
수록면
25 - 32 (8page)
DOI
10.3795/KSME-C.2019.7.1.025

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (7)

2023

반도체 스크러버 반응챔버에서 아산화질소 분해특성에 관한 수치해석 연구
윤종혁 ,  위수빈 ,  위수빈 외 4명 한국환경기술학회지 2023.06 학술저널
가스 스크러버 반응챔버 내 폐가스 처리를 위한 아산화질소 분해특성에 대한 수치해석 연구
윤종혁 ,  김현경 ,  위수빈 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2023.04 학술대회자료

2019

반도체 스크러버 열회수 장치 성능분석에 대한 수치해석연구
윤종혁 ,  송형운 ,  정희숙 한국에너지기후변화학회 학술대회 2019.05 학술대회자료
반도체 폐가스 처리용 가스 스크러버의 전열 반응기 내열유동특성에 관한 수치해석 연구
윤종혁 ,  송형운 ,  김영배 기술과 교육 2019.03 학술저널

2018

반도체 스크러버용 열분해반응기 내 폐가스 거동 특성에 대한 수치해석 연구
윤종혁 ,  김영배 ,  김은주 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2018.04 학술대회자료
반도체 폐가스 처리용 열분해반응기의 입구형상이 열유동 특성에 미치는 영향에 관한 수치해석 연구
윤종혁 ,  김영배 ,  송형운 공업화학 2018.01 학술저널

2017

습식 스크러버 반응기 내 열유동특성에 관한 수치해석 연구
윤종혁 ,  송형운 ,  김은주 외 1명 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2017.11 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
반도체 산업의 발달과 더불어 반도체 생산공정에서 발생되는 다양한 종류의 폐가스 배출을 저감시키기 위한 관심이 집중되고 있다. 이러한 환경유해가스를 저감시키기 위한 장치로서 가스 스크러버 장치가 널리 사용되고 있으며 가스 스크러버 장치를 구성하고 있는 열분해 반응기의 성능향상을 위한 다양한 시도가 이뤄지고 있다. 본 연구에서는 수치해석기법을 기반으로 한 전산유체역학을 이용하여 열분해 반응기 내 열유동 특성을 예측하였고 실험과의 비교분석을 통하여 해석기법을 검증하였다. 온도결과에 대한 해석과 실험은 약 1.27~2.25% 수준의 오차를 보였으며 이를 통해 해석결과의 타당성을 확보하였다. 추가적으로 검증된 해석기법을 이용하여 운전조건 및 반응기 형상 변화에 따른 거동특성을 파악하였다.
#Semiconductor industry(반도체 산업) #Waste gas(폐가스) #Gas Scrubber(가스 스크러버) #Electrical Heating Reactor(전열 반응기) #Computational Fluid Dynamics(전산유체역학)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 수치해석
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

아크 플라즈마를 이용한 과불화합물 처리공정에서 반응가스에 의한 효과
박현우 ,  최수석 ,  박동화 청정기술 2013 .06
스팀 플라즈마를 이용한 HFCs 분해특성
김관태 ,  강희석 ,  이대훈 외 1명 한국대기환경학회지(국문) 2013 .02
유동층 반응기를 이용한 촉매분해 스크러버 특성의 선행연구
조동현 ,  조성권 ,  강홍재 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2021 .05
고발열 반도체 열관리 기술 동향
이형순 기계저널 2020 .12
상사이론 기반 설계된 가스 스크러버 반응챔버 내 열유동특성에 관한 연구
윤종혁 ,  김동수 ,  김현경 외 1명 대한환경공학회지 2019 .11

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0