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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.12
- 수록면
- 343 - 346 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (7)
2019
2018
FEM 해석을 이용한 mN급 MEMS 추력 측정 시스템 설계
류영석
,
서대반
,
이종광
한국추진공학회 학술대회논문집
2018.12
학술대회자료
압저항 센서 기반의 μN급 MEMS 추력 측정 시스템의 개발
류영석
,
이종광
한국추진공학회 학술대회논문집
2018.12
학술대회자료
압저항 방식의 μN급 MEMS 추력 측정 시스템 설계 및 성능 예측
류영석
,
이종광
한국추진공학회지
2018.12
학술저널
MEMS 기술을 이용한 μN급 추력 측정 시스템의 제작 방법
류영석
,
이종광
한국추진공학회 학술대회논문집
2018.05
학술대회자료
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초록· 키워드
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mN급 마이크로 추력기의 성능 평가에 적합한 시스템을 설계하기 위해 FEM 해석을 수행하여 MEMS 기반 추력 측정 시스템의 형상 최적화를 수행하였다. 추력 측정 시스템은 원형 박막 구조를 가지며 추력 측정을 위해 압저항 센서를 사용하였다. 압저항 센서의 높은 민감도를 확보하기 위해서 시스템은 동일 추력 대비 높은 응력을 발생시킬 수 있는 시스템으로 설계되어야 한다. FEM 해석을 통해 목표 추력 범위 내에서 원형 박막의 크기와 두께에 따른 응력 변화를 확인하여 형상 최적화를 수행하였다.
목차
ABSTRACT
초록
1. 서론
2. FEM 해석을 통한 추력 측정 시스템의 설계
3. 결론 및 향후 계획
References
참고문헌 (0)
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