공정 센서 드리프트 가속화와 불규칙적인 보수 주기가 존재하는 반도체 공정의 FDC를 위한 결합 인공 신경망 모델

김영주; 이호엽; 김창욱

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저자정보: 김영주 (연세대학교) 이호엽 (연세대학교) 김창욱 (연세대학교)

저널정보: 대한산업공학회 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2019년 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 [3개 학회 공동주최]

발행연도: 2019.4

수록면: 3,210 - 3,227 (18page)

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공정 센서 드리프트 가속화와 불규칙적인 보수 주기가 존재하는 반도체 공정의 FDC를 위한 결합 인공 신경망 모델

김영주 , 이호엽 , 김창욱 한국경영과학회 학술대회논문집 2019.04 학술대회자료

공정 센서 드리프트 가속화와 불규칙적인 보수 주기가 존재하는 반도체 공정의 FDC를 위한 결합 인공 신경망 모델

김영주 , 이호엽 , 김창욱 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2019.04 학술대회자료

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