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저자정보
송호현 (한국과학기술원) 설유빈 (한국과학기술원) 장홍영 (한국과학기술원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2019.8
수록면
3 - 3 (1page)

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