The Effect of a Thermal Annealing Process on In-Ga-Zn-O (IGZO) TFT

Sung-Hun Lee; Jin-Hong Park

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저자정보: Sung-Hun Lee (Sungkyunkwan University) Jin-Hong Park (Sungkyunkwan University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2019.8

수록면: 169 - 169 (1page)

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