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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 114 - 118 (5page)
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본 논문에서는 육각형 GaN 피라미드의 꼭지점 부분에만 나노 혹은 마이크로 크기의 GaN 구조를 선택적으로성장시킬 수 있는 결정 성장 방법에 대하여 연구하였다. 최적화된 포토리소그라피 공정을 이용하여 육각형 GaN 피라미드구조의 꼭지점 부분의 SiO2 마스크 영역만을 제거할 수 있었으며, 이렇게 하여 노출된 육각형 GaN 피라미드의 꼭지점 부분에만 metal organic vapor phase epitaxy(MOVPE) 결정 성장방법을 사용하여 나노 및 마이크로 크기의 GaN 구조를 선택적으로 성장하였다. GaN 피라미드 꼭지점 부근에 형성된 나노 및 마이크로 GaN 구조는 semi-polar {1-101} 결정면으로 둘러싸인 육각 피라미드 형상을 하고 있으며, 그들의 크기는 성장 시간에 의해 쉽게 조절할 수 있음을 확인하였다. TEM 관측 결과, 측면 방향으로 진행하는 관통전위들이 SiO2 마스크에 의해 효율적으로 차단되어 나노 및 마이크로 GaN 구조에서는 전위 밀도가 감소하는 것을 확인할 수 있었으나, SiO2 마스크의 끝부분의 매끄럽지 못한 부분에 의해 적층 결함이 발생함을 확인하였다.
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A.F. Wright / 1997 / Elastic properties of zinc-blende and wurtzite AlN, GaN, and InN / J. Appl. Phys 82 : 2833 ~
C. Chen / 2003 / Ultraviolet light emitting diodes using non-polar a-plane GaN-AlGaN multiple quantum wells / Jpn. J. Appl. Phys 42 : 1039 ~
F. Bernardini / 1997 / Spontaneous polarization and piezoelectric constants of III-V nitrides / Phys. Rev. B 56 : 10024 ~
H. Miyake / 1999 / Effects of reactor pressure on epitaxial lateral overgrowth of GaN via low-pressure metalorganic vapor phase epitaxy / Jpn. J. Appl. Phys 38 : 1000 ~
J.E. Northrup / 1996 / Inversion domain and stacking mismatch boundaries in GaN / Phys. Rev. Lett 77 : 103 ~
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J.E. Northrup / 1996 / Inversion domain and stacking mismatch boundaries in GaN / Phys. Rev. Lett 77 : 103 ~
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