생체의학에 적용 가능한 테이퍼형태의 금속성 마이크로니들 어레이의 개발

김갑석; 김경환; 진병욱; 이정봉; 제우성

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김갑석 김경환 진병욱 이정봉 제우성

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제11권 제2호

발행연도: 2004.1

수록면: 59 - 66 (8page)

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본 연구에서는 유리기판을 통한 SU-8의 이중층을 후면 노광을 통하여 테이퍼지고 속이 빈 형태의 마이크로니들 배열구조물을 만드는 새로운 방법을 제안하였으며 테이퍼지고 속이 빈 형태의 원형축의 Buckling현상에 관한 해석해를 구하였다. Pyrex 7740을 유리기판으로 사용하고 이중층 구조의 SU-8 막을 후면 노광으로 금형 구조물을 제작하는 공정을 개발하였다. 200m 높이의 SU-8기둥들에서 4.37 ~5o 범위의 테이퍼 각도를 400m 높이의 SU-8 기둥에서는 3.08~4.48o 범위 내의 테이퍼 각을 보여주고 있다후면 유체저장소와 가로세로 각각 10개의 테이퍼 형태로 전기도금된 니켈 마이크로니들 어레이를 유리기판을 통해 이중층 구조의 SU-8막을 후면 노광하고, 니켈을 전기도금 함으로서 실현시켰다. 200m와 400m 높이의 벽두께 10m-20m 및 내경 33.6m-101m인 마이크로니들 어레이를 제작하였다. 또한 400m 높이의 벽두께 20m 및 내경 33.6m인 3.08o 의 테이퍼 각 마이크로니들 의 임계 버클링힘은 1.8N이었다. 이 해는 차후의 테이퍼 형태의 마이크로니들의 설계시 많은 도움을 주리라 생각한다.

#A tapered hollow metallic microneedle #SV-8 #Electroplate

참고문헌 (14)

참고문헌 신청

/ 1985 / Encyclopedia of Medical History

/ 1988 / Analytic Solutions for Tapered Column Buckling 28

/ 1988 / Analytic Solutions for Tapered Column Buckling 28 : 67781 ~

/ 1988 / Rates of Needle-stick Injury Caused by Various Devices in a University Hospital : 2848 ~

/ 1995 / Ultrasound-mediated Transdermal Protein Delivery

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