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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 49 - 53 (5page)
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Diamond-like carbon (DLC)은 sp3 결합분율이 높은 준안정 상태의 비정질 탄소물질로 이루어진 박막이다.
DLC는 기계적 특성, 화학적 특성, 윤활 특성뿐만 아니라 광학적, 전기적 특성 또한 우수한 물질이다. 본 연구에서는 DLC 박막을 그라파이트(graphite) 타깃을 출발 물질로 하여 고주파 마그네트론 스퍼터(RF magnetron sputter)로 SiO2 기판 상에 증착하였다. 증착된 DLC 박막은 후 열처리를 하였으며 열처리 온도에 따른 DLC 박막의 특성 변화를 관찰하였다. 열처리는 진공에서 급속가열법(rapid thermal process)으로 300~500℃ 범위에서 시행하였다. 열처리된 DLC 박막은 전기적특성 평가를 위하여 Hall 계수 측정기를 이용하여 상온 비저항을 측정하였으며 표면 변화를 확인하기 위하여 원자력 현미경(atomic force microscopy)을 이용하여 표면형상 변화를 관찰 하였다. 또한 표면특성, 비저항 특성 변화와 구조적 특성 변화와의 관계를 확인하기 위하여 X-선 광전자 분광법(X-ray photoelectron spectroscopy)과 라만 분광법을 이용하여열처리에 따른 DLC 박막의 구조 변화를 관찰하였다.
목차
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참고문헌 (14)
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A. C. Ferrari / 2000 / Interpretation of Raman spectra of disordered and amorphous carbon / Phys. Rev. Lett : 14095 ~
A. Sikora / 2009 / Effect of boron incorporation on the structure and electrical properties of diamond-like carbon films deposited by femtosecond and nanosecond pulsed laser
A. Y. Liu / 1989 / Prediction of new low compressibility solids / Science : 841 ~
B. K. Ju / 2000 / Decrease of Gate Leakage Current by Employing Al Sacrificial Layer Deposited on a Tilted and Rotated Substrate in the DLC-coated Si-tip FEA Fabrication / P
D. Briggs / 1992 / Practical surface analysis / John Wiley & Sons Ltd, Hoboken : 1 ~ 119
A. Sikora / 2009 / Effect of boron incorporation on the structure and electrical properties of diamond-like carbon films deposited by femtosecond and nanosecond pulsed laser
A. Y. Liu / 1989 / Prediction of new low compressibility solids / Science : 841 ~
B. K. Ju / 2000 / Decrease of Gate Leakage Current by Employing Al Sacrificial Layer Deposited on a Tilted and Rotated Substrate in the DLC-coated Si-tip FEA Fabrication / P
D. Briggs / 1992 / Practical surface analysis / John Wiley & Sons Ltd, Hoboken : 1 ~ 119
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