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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제20권 제4호
발행연도
2013.1
수록면
1 - 6 (6page)

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Recently, various types of flexible devices such as flexible displays, batteries, e-skins and solar cell panelshave been reported. Most of the researches focus on the development of high performance flexible device. However, torealize these flexible devices, the long-term reliability should be guaranteed during the repeated deformations of flexibledevices because the direct mechanical stress would be applied on the electronic devices unlike the rigid Si-based devices. Among various materials consisting electronics devices, metal electrode is one of the weakest parts against mechanicaldeformation because the mechanical and electrical properties of metal films degrade gradually due to fatigue damageduring repeated deformations. This article reviews the researches of fatigue behavior of thin metal film, and introducesthe methods to enhance the reliability of metal electrode for flexible device.

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