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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국기계기술학회 한국기계기술학회지 한국기계기술학회지 제15권 제6호
발행연도
2013.1
수록면
847 - 852 (6page)

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Numerical analysis of a Ni-PZT stacked piezoelectric micro actuator is investigated for the prediction of mechanical behavior as a preceding research for the manufacturing of three dimensional micro structures. Finite element method is adopted to examine the simulation of a piezoelectric actuator according to applied direction of voltage, by researching displacement characterization of piezoelectric material through piezoelectric theory. PZT-4 is selected as a piezoelectric material. And bimorph finite element modeling is employed to study the response of Ni-PZT bi-layered micro actuator under the various input voltages. The results are presented as maximum displacement values under each applied voltages. Maximum displacement of 0.71μm at 60V is obtained.

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