화학적 성분 분석능력을 가진 원자 현미경의 제작

이동원

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이동원

저널정보: 한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제14권 제2호

발행연도: 2005.1

수록면: 1 - 6 (6page)

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This paper describes a novel concept of a chemically sensitive scanning force microscope (CS-SFM). It consists of the conventional SFM and the time-of-flight mass spectrometer (TOF-MS). A switchable cantilever (SC) fabricated by the micromachining technology combines each advantage of two completely different systems, SFM and TOF-MS. The CS-SFM offers to produce both images of topography and chemical information simultaneously. First we employed a rotatable tip holder based on 4 piezotube actuators for demonstration of the possibility of the CS-SFM concept. Second the CS-SFM concept is optimized with the micromachining technology. The micromachined SC with an integrated bimorph actuator and a piezoresistive strain sensor provides a reasonable switching speed of ~10 ms which is very attractive for the CS-SFM application. The SC is currently being integrated in an ultra-high-vacuum system to perform various experiments.

#SFM #TOF-MS #cantilever #bimorph actuator

참고문헌 (11)

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D. M. Eigler / 1990. / Positioning single atoms with a scanning tunnelling microscope 344 : 524 ~ 526

D. W. Lee,M. Despont,U. Drechsler,C. Gerber,P. Vettiger,A. Wetzel / 2003. / Switchable cantilever fabrication for a novel timeof-flight scanning force microscope : 635 ~

G. Binning / 1983. / 7 × 7 reconstruction on Si resolved in real space : 120 ~ 123

G. Binning,C. F. Quate,and C. Gerber / pp.930-933 / Atomic force microscopy : 1986 ~

H. Tanaka / 1996. / STM observation of copper-phthalocyanine and nucleic acid base molecules on reduced SrTiO3 : 3759 ~ 3763

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