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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제16권 제11호
발행연도
2003.1
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A study has been made of surface modification of various organic materials by ion implantation to increase the surface electrical properties. The substrate used were PP(polypropylene), PET(polyethylene teraphthalate), ECOP(ethylene copolyester), PS(polystyrene). N2, Ar ion implantation was performed at energies of 40 and 50keV with fluences from 5×1015 to 7×1016 ions/㎠ with and without H2O gas environment. Surface resistance decrease of implanted polymers was affected by ion implantation energy, ion species, atmosphere of chamber and kind of polymer. In result, surface conductivity of polymers irradiated with atmosphere gas H2O was 10 times more higher than normal vacuum atmosphere, but after 90 hours, surface conductivity returned to the without H2O gas atmosphere condition caused by aging effect. After vacuum forming, surface resistance value was changed to over 1016Ω/□, because creation of surface cracks.
#Ion implantation #Polymers #Surface Resistance

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