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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제6호
발행연도
2011.1
수록면
449 - 457 (9page)

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반도체공정 진공시스템 최적화 설계를 위한 시스템 진공특성에 대한 진공펌프조합 영향이 전산모사로 연구되었다. 본 연구로 상업화 전산모사기인 VacSimMulti에 의한 진공시스템 전산모사 모델링기구가 제시되었으며 진공시스템의 진공생성기구인 펌핑계 설계조합 영향을 평가하여 향후 응용목적에 따른 여러 진공시스템 설계기구들의 전산모사 연구 가능성이 제시되었다. VacSimMulti의 저진공펌프 모델 전산모사 결과와 펌프사양에 의한 배기거동이 오차범위로 일치하였으며 부스터펌프의 조합이 중진공영역 응용에 효과적인 것으로 확인되었다. 또한 자체 배기능력이 없는 유확산펌프와 터보분자펌프 배기계의 최적화 보조펌프 조합이 제시되었으며, 유확산 및 터보분자펌프 진공시스템의 반도체공정 응용특성도 평가되었다.
#Vacuum characteristics #Vacuum system #Vacuum pump #Simulation

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참고문헌 (8)

참고문헌 신청
J. M. Lafferty / 1999 / Foundations of Vacuum Science and Technology / John Wiley & Sons : 162 ~ google schola S. H. Pae / 2000 / Vacuum Engineering / Ko rean Economic Daily : 127 ~ google schola S. Shen / 1999 / / Proc. 1999 Particle Accelerator Conf : 184 ~ google schola SoftSim / / VacSimMulti Simulation google schola VacMaster / / http:// www.vecorus.com/ vacmaster/

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