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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제4호
발행연도
2011.1
수록면
297 - 302 (6page)

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본 연구에서는 PZT 박막의 기판 재료로 사용하기 위하여 LTCC 기판을 제작하였다. 제작된 기판을 사용하여 다양한 스퍼터링 조건과 열처리 조건에 따른 최적의 PZT 박막의 성장조건을 찾고 구조적 특성을 분석하여 LTCC 기판을 PZT 박막의 기판 재료로 응용하기 위한 가능성에 대하여 연구하였다. 산소의 농도가 증가할수록 PZT 박막의 (111)면의 회절강도가 증가하다 감소하는 모습을 보였다. 특히 산소의 농도가 25%일 때 가장 우수한 결정성을 보였다. 후 열처리 온도가 500℃에서 700℃까지 증가할수록 박막의 결정성은 증가하였으며 700℃일 때 가장 우수한 결정성을 보였다. 본 연구를 통하여 LTCC 기판위에 PZT 박막의 성장이 가능하다는 것을 확인하였으며 향후 지속적인 연구를 통하여 더욱 향상된 특성을 얻을 수 있을 것으로 기대된다.
#LTCC #Pb #ZrTi)O_3 #RF magnetron sputtering #Annealing

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