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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.1
- 수록면
- 1,014 - 1,019 (6page)
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The influence of the number of solution coatings on the densification of the PZT thick films was studied. PZT powder and PZT precursor solution was prepared by a sol-gel method and PZT thick films were fabricated by the screen-printing method on the alumina substrates. The powder and solution of composition were (A) PZT(80/20)/PZT(20/80), (B) PZT(70/30)/PZT(30/70) and (C) PZT(60/40)/PZT(40/60), (D) PZT(52/48)/PT. The coating and drying procedure was repeated 4 times. And then the PZT precursor solution was spin-coated on the PZT thick films. A concentration of a coating solution was 0.5 mol/L and the number of coating was repeated from 0 to 6. The porosity of the thick films was decreased with increasing the number of coatings and the PZT thick films with 6-times coated showed the dense microstructure and thickness of about 60 μm. A grain size was increased with increasing the coating number. All PZT thick films showed the typical XRD patterns of a typical perovskite polycrystalline structure. The relative dielectric constant of PZT thick films was improved 30-100 % as the number of coatings.
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/ 1992. / Ferroelectrics materials and their applications 39 (5) : 1162 ~
/ 1997. / Thick-film densification for pyroelectric sensor 8 : 38 ~
/ 1997. / Thick-film printing of PZT onto silicon 31 : 109 ~
/ 1999. / Ferroelectric ceramics history and technology 8 (4) : 797 ~
/ 1999. / Processing of PZT piezoelectric thick films on silicon for microelectromechanical systems 9 (3) : 218 ~
/ 1997. / Thick-film densification for pyroelectric sensor 8 : 38 ~
/ 1997. / Thick-film printing of PZT onto silicon 31 : 109 ~
/ 1999. / Ferroelectric ceramics history and technology 8 (4) : 797 ~
/ 1999. / Processing of PZT piezoelectric thick films on silicon for microelectromechanical systems 9 (3) : 218 ~
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