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논문 기본 정보

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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제5호
발행연도
2013.1
수록면
397 - 400 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2013

유연성 기판 응용을 위한 Off-axis sputtering 법을 이용하여 유연성 기판 위에 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성평가
최형진 신소재공학과 2013.01 학위논문
유연성 기판 위에 증착된 ITO 박막의 공정 온도에 따른 전기적·광학적 특성 평가
최형진 ,  윤순길 전기전자재료학회논문지 2013.01 학술저널

2011

Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성
최형진 ,  윤순길 ,  정현준 외 1명 전기전자재료학회논문지 2011.01 학술저널

초록· 키워드

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대향타겟식 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 결정화된 ITO 박막을 다양한 온도에서 증착하였다. ITO 박막은 50℃ 온도의 Si 기판과 75℃ 온도의 PET 기판에서 결정화가 시작되었다. 또한 ITO 박막은 PET 기판에서 120℃ 온도에서 (222) 방향으로 성장하는 것을 확인할 수 있었다. 160 nm 두께의 ITO 박막은 7 × 10-4 Ω․cm 의 비저항과 550 nm의 파장에서 84% 이상의 투광 특성을 보여주었다. 대향타겟식 스퍼터링법을 사용하면 낮은 온도의 공정을 통해 결정화된 ITO 박막을 증착할 수 있다.
#ITO #TCO #Off-axis sputtering #PET

목차

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C. Guillen / 2005 / / Thin Solid Films 480 : 129 ~ google schola J. T. Hwang / 2003 / / Polym. Sci. Technol 14 : 554 ~ google schola K. Maki / 2003 / / Thin Solid Films 455 : 224 ~ google schola S. Li / 2006 / / Mater. Chem. Phys 98 : 144 ~ google schola S. Venkat / 2009 / / Scripta Materialia 61 : 867 ~ google schola

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