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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제23권 제3호
발행연도
2010.1
수록면
194 - 198 (5page)

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Recently as the electronic devices are getting to be more and more smaller, transformers are needed to be micro fabricated using MEMS technology. In this paper transformers have been fabricated and measured by depositing insulation layer to reduce the loss of eddy current and in the middle core a high permeability permalloy was designed based on the turns ratio between primary coil and secondary coil which are 1:1 transformers. (the number of turns of primary coil and secondary coil: 3/3, 5/5, 7/7). The size of the transformers including ground shield are 1 mm ⨯ 1.5 mm, 1 mm ⨯ 1.95 mm, 1 mm ⨯ 2.35 mm respectively. The line width, pitch and the height of post are 50um. Based on the measured data from the micro fabricated transformers, the 3/3 turns in the primary coil and secondary coil showed the lowest insertion loss with 1.5 dB at 480 MHz and the 7/7 turns in the primary coil and secondary coil showed the highest insertion loss with 2.5 dB at 280 MHz. Also confirmed that the bandwidth goes up as the number of turns goes down. There was some difference between the actual measured data and the HFSS simulation result. It looks as if it is an error of the difference between oxidation of copper or the permeability of SU-8.
#Micro transformer #Permalloy #Insertion loss

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D.Snell / 2008 / Measurement of noise associated with model transformer cores / Journal of Magnetism and Magnetic Materials 320 (20) : 535 ~ google schola H. Kurata / 1993 / Study of thin film micro transformer with high operating frequency and coupling coefficent / IEEE Transactions on Magnerics 29 (6) : 3204 ~ google schola Hsu, H.-M / 2007 / An on-chip transformer in silicon-based technology / Journal of Micromechanics and Microengineering, 17 : 1504 ~ google schola I. Cendoya / 2007 / A new methodology for the on-wafer characterization of rf integrated transformers / IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 55 : 1046 ~ google schola K. I. Arshak / 2001 / Development of screen-printed polymer thick film planner transformer using Mn-Zn ferrite as core material / Microelectronics Journal 32 : 113 ~ google schola

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