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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제23권 제8호
발행연도
2010.1
수록면
601 - 604 (4page)

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In this study, the piezoelectric energy harvester was investigated employing the pillar structure with the diameter size of 50～500 um. Usually, the aspect ratio between the height and diameter was related with the piezoelectric performance. High aspect ratio was showed the low electric noise and high piezoelectric properties than low aspect ratio. Therefore, we have selected the Su-8 photo-resist and modified lithography process to manufacture the pillar structure with height above the 250 μm. In this presentation, we will report the process and properties of micro pillar structure based on the PMN-PZT (Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbZrTiO3) materials.
#Energy havesting #Micro pillar structure

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H. W. Kim / 2004 / / Jpn. J. Appl. Phys. 43 : 6178 ~ google schola J. Kymissis / 1998 / / Proceeding of the Second IEEE International Conference on Wearable Computing (ISWC 1998) : 132 ~ google schola S. R. Platt / 2005 / / IEEE-ASME Trans. Mechatron. 10 : 455 ~ google schola Y. Hirata / 1995 / / Proc. IEEE MEMS Workshop : 191 ~ google schola Y. Hirata / 2008 / / J. Mater. Sci. 43 : 117 ~ google schola

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