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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제11호
발행연도
2012.1
수록면
857 - 861 (5page)

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CMOS image sensor(CIS)에서 pixel 단위의 감도 개선 및 색감 구현을 위해 사용하는 color filter, microlens, over-coating layer(OCL) 등 미소 광학구조는 pixel 단위 별 mismatch 및 광학 재료 특성과 구조적 variation으로 인해 pixel FPN에 기여하게 된다. 이러한 광학 구조 별 pixel FPN 기여 성분을 분리하고 분석하는 방법을 소개하고 소개된 방법을 통해 개별 잡음 기여 성분을 추출하여 주요 잡음 원인을 정량적인 수치로 검증하였다. 본 방법은 광학 공정까지 모두 integration된 pixel 소자의 올바른 잡음 정도를 예측함으로서 잡음의 주요 원인과 pixel FPN 개선 및 효과 정도를 추적할 수 있다.

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