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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제11호
발행연도
2012.1
수록면
873 - 877 (5page)

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열증발법을 이용한 ZnO 나노구조체의 합성에서, ZnO 나노구조체의 생성 및 형상에 미치는 산소압력의 영향을 살펴보기 위하여 산소압력을 0.5 Torr 〜 900 Torr의 범위에서 변화시키면서 실험을 하였다. 산화 온도는 1,000℃, 산화 시간은 1시간으로 하였다. 10 Torr 이하의 산소압력 조건에서는 나노구조체가 형성되지 않았다. 100 Torr의 산소압력 조건에서 와이어 형상의 ZnO 나노구조체가 생성되었으며 산소압력이 500 Torr까지 증가함에 따라 tetrapod 형상의 나노구조체가 생성되었다. 그러나 900 Torr로 산소압력이 더욱 증가하자 다시 특정한 형상을 갖는 어떠한 나노구조체도 형성되지 않았다. 와이어 형상과 tetrapod 형상의 ZnO 나노구조체로부터 550 nm의 중심파장을 갖는 녹 색영역의 광 발광이 관찰되었다.

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