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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제7권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
112 - 117 (6page)

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In this paper we present that the effects of polymer adsorption on stabilities and CMP performance of ceria abrasive particles. Characterization of ceria abrasive particles in the presence of poly(vinyl pyrrolidone) (PVP) was performed by the measurements of adsorbed amounts of PVP, average sizes, and the back scattering intensities of the ceria abrasive particles as functions of PVP molecular weight and PVP concentration. The ceria abrasive particles in the presence of PVP were used to polish SiO2 and Si3N4 films deposited on Si wafers in order to understand the effect of PVP adsorption on chemical mechanical polishing (CMP) performance, together with ceria abrasive particles without PVP. Adsorption of PVP on the ceria abrasive particles enhanced the stability of ceria abrasive particles due to steric stabilization of the thick adsorbed layer of PVP. Removal rates of the deposited SiO2 and Si3N4 films by the ceria abrasive particles in the presence of PVP were much lower than those in the absence of PVP and their magnitudes were decreased with an increase in the concentration of free PVP chains in the dispersion media. This suggests that the CMP performance in the presence of PVP could be mainly controlled by the hydrodynamic interactions between the adsorbed PVP chains and the free ones. Moreover, the molecular weight dependence of PVP on the removal rates of the deposited films was hardly observed. On the other hand, high removal rate selectivity between the deposited films in the presence of PVP was not observed.
#Polymer adsorption #CMP #Ceria abrasive particles #Poly #Vinyl pyrrolidone) #Steric stabilization

목차

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참고문헌 (12)

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/ 1981. / Monolayer studies on adsorbed layer thickness of polyvinylpyrrolidone on polystyrene latices and steric stabilization free energy 13 : 783 ~ google schola / 1982. / The adsorption of poly 90 : 1419 ~ google schola / 1990. / Chemical processes in glass polishing 120 : 152 ~ google schola / 1993. / Polymers at Interfaces : 234 ~ google schola / 1994. / The point of zero charge of CeO2 167 : 352 ~ google schola

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