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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제9호
발행연도
2011.1
수록면
739 - 743 (5page)

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RF와 DC 마그네트론 스퍼터를 이용하여 유리기판위에 GZO/Cu 적층박막을 증착하고, 후속 열처리 온도변화에 따른 박막의 구조적, 광학적, 그리고 전기적 특성변화를 연구하였다. 열처리 공정은 1×10^(-3) Torr 에서 30분 간 150℃와 300℃에서 진행되었다. 증착 후 진공 열처리에 의하여 박막의 ZnO (002) 우선 배향성이 강화되었고, 가시광 투과도와 전기전도도가 향상되었다. 본 연구에서 300℃에서 진공 열처리된 GZO/Cu박막이 70% 가시광 투과도와 85 Ω/☐ 의 낮은 면저항 특성을 보였다.
#GZO #Cu #Magnetron sputtering #Vacuum annealing

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B. D. Cullity / 1978 / Elements of X-ray Diffraction / Addition-Wesley : 102 ~ google schola C. Cheng / 2007 / / Thin Solid Films 516 : 203 ~ google schola D. I. Kim / 2006 / / Vacuum 81 : 279 ~ google schola G. Haacke / 1976 / / J. Appl. Phys 47 : 4086 ~ google schola H. Makino / 2010 / / Thin Solid Films 30 : 1521 ~ google schola

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