메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제2호
발행연도
2012.1
수록면
91 - 95 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
p-type 4H-SiC 기판에 ZnO 박막을 PLD로 증착했다. p-type 4H-SiC 기판에 ZnO 나노선을 furnace로 형성했다. Ti/Au 전극을 ZnO 박막/SiC 와 ZnO 나노선/SiC 에 각각 증착했다. FE-SEM과 XRD로 구조적, 결정학적 특성을 조사했다. 300℃에서 여러 CO 가스 농도 (0%, 90%, 70%, 50%) 에서 가스 센서의 저항과 감도를 측정하였다. CO 가스 환경에서 가스 센서의 저항이 감소하였고 ZnO 나노선/SiC 가스센서의 감도는 ZnO 박막/SiC 가스센서의 감도보다 2배가량 크다.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (15)

참고문헌 신청

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0