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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제5권 제5호
- 발행연도
- 2004.1
- 수록면
- 189 - 193 (5page)
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Pure and Sn or Pt doped α-Fe2O3 thin films were prepared on Al2O3 substrates by RF-magnetron sputtering method and the sensitivities were compared. It was found that pure α-Fe2O3 thin films did not exhibit much selectivity in CO and i-C4H10 gases while it showed the high sensitivity in proportion to the gas concentration of C2H5OH gas. Pt-doped α-Fe2O3 showed to be alike sensing properties as pure α-Fe2O3 thin film in C2H5OH gas. However, Sn-doped α-Fe2O3 thin films exhibited the excellent sensitivity and selectivity in H2 gas. After microstructure modification by plasma etching on pure α-Fe2O3 thin films, the gas sensing characteristics were dramatically changed.
목차
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/ 1982. / Effects of sulfate ion on gas sensitive properties of α- Fe2O3 ceramics 21 : 758 ~
/ 1983. / Enhan-cement of gas sensitivity by controlling microstructure of α- Fe2O3 ceramics 22 (6) : 912 ~
/ 1992. / Microstructure and humidity sensitive characteristics of α- Fe2O3 cera-mic sensor 75 : 546 ~
/ 1993. / Characterization of SnO2 films deposited by d. c. gas discharge activating reaction evaporation onto amorphous and crystalline substrates 224 : 82 ~
/ 1994. / A capacitive CO2-sensor with on chip heating Dig. 5th Intl. Mtg. on Chem. Sensors : 526 ~
/ 1983. / Enhan-cement of gas sensitivity by controlling microstructure of α- Fe2O3 ceramics 22 (6) : 912 ~
/ 1992. / Microstructure and humidity sensitive characteristics of α- Fe2O3 cera-mic sensor 75 : 546 ~
/ 1993. / Characterization of SnO2 films deposited by d. c. gas discharge activating reaction evaporation onto amorphous and crystalline substrates 224 : 82 ~
/ 1994. / A capacitive CO2-sensor with on chip heating Dig. 5th Intl. Mtg. on Chem. Sensors : 526 ~
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