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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.1
- 수록면
- 665 - 670 (6page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (5)
2016
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본 연구에서는 기계적 합금화 방법을 이용하여 Ti-Al-Si 합금 분말을 제조하였고, 방전플라즈마 소결법을 이용하여 Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하였다. 또한 제작된 합금 타겟을 이용하여 스퍼터링 공정을 진행하였다. 그 결과 제조한 합금 분말의 크기는 약 3 ~ 4 ㎛로 전체적으로 균일한 크기인 가졌으며 맵핑 분석 결과 균일한 조성 분포를 가지고 있었다. 제작한 Ti-Al-Si 합금 타겟은 약 99% 이상의 높은 밀도를 가지고 있었으며 합금분말과 마찬가지로 높은 조성균일도를 가졌다. 또한 타겟의 경도 측정 결과 1,127 Hv의 높은 경도값을 가지는 것을 확인하였다. 스퍼터링 공정을 이용하여 제작한 Ti-Al-Si-N 박막 분석 결과 타겟의 조성과 동일하였으며 나노인덴터를 이용한 박막의 경도 분석 결과 35 GPa의 높은 경도값을 가졌다. 마찰계수 측정을 위해 상온에서 볼 온 디스크 장비를 이용하여 마찰계수를 측정한 결과 약 0.66의 마찰계수를 가졌다.
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