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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제11권 제6호
발행연도
2010.1
수록면
275 - 278 (4page)

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We have examined the Ferroelectric properties of PbZr0.4Ti0.6O3 (PZT) grains by monitoring the surface potential through the utilization of Kelvin force microscopy. Hysteretic and time dependent behaviors of small and large grains were compared with each other. The smaller grain yields had smaller values of surface potential. However,the normalized voltage versus surface potential behavior indicates that the smaller grains became saturated earlier with respect to the writing voltages than did the larger grains. On the other hand, the surface potential hysteresis loop obtained from the smaller grains showed a similar shape to what might be obtained from a Zr rich PZT film. In contrast the hysteresis loop of the larger grain looks like that obtained from a Ti-rich film. In addition, the time dependent behaviors of the smaller grains also revealed a better response than the response of larger grains. The overall ferroelectric properties of the smaller grains seem better than corresponding properties for larger grains. The Ti/Zr ratio of the PZT film which was examined in this study was 60/40.
#Kelvin force microscopy #Surface potential #Hysteretic loop #PbZr0.4Ti0.6O3 grain

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A. Gruverman / 2000 / / Appl. Phys. Lett. 76 : 106 ~ google schola A. Gruverman / 2001 / / Appl. Phys. Lett. 78 : 2751 ~ google schola B. H. Park / 1999 / / Nature 401 : 682 ~ google schola C. S. Ganpule / 1999 / / Appl. Phys. Lett. 75 : 409 ~ google schola D. J. Wouters / 1996 / / Microelectron. Reliab. 36 : 1763 ~ google schola

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