Dry Etching Characteristics of Indium Zinc Oxide Thin  Films in Adaptive Coupled Plasma

우종창; 최창욱; 김창일

추천

검색

자료유형: 학술저널

저자정보: 우종창 최창욱 김창일

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제14권 제4호

발행연도: 2013.1

수록면: 216 - 220 (5page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

The etching characteristics of indium zinc oxide (IZO) in Cl2/Ar plasma were investigated, including the etch rate and selectivity of IZO. The IZO etch rate showed non-monotonic behavior with increasing Cl2 fraction in the Cl2/Ar plasma,and with increasing source power, bias power, and process pressure. In the Cl2/Ar (75:25%) gas mixture, a maximum IZO etch rate of 87.6 nm/min and etch selectivity of 1.09 for IZO to SiO2 were obtained. Owing to the relatively low volatility of the by-products formation, ion bombardment was required, in addition to physical sputtering, to obtain high IZO etch rates. The chemical state of the etched surfaces was investigated with X-ray photoelectron spectroscopy. These data suggested that the IZO etch mechanism was ion-enhanced chemical etching.

#Etching #Indium zinc oxide #IZO #X-ray photoelectron spectroscopy #Cl2

참고문헌 (16)

참고문헌 신청

B. Kumar / 2005 / / J. Appl. Phys 97 : 063706 ~

D. P. Kim / 2004 / / Thin Solid Films 447-448 : 343 ~

G. Prumper / 2006 / / Radiat. Phys. Chem 75 : 2019 ~

J. C. Woo / 2009 / / Thin Solid Films 517 : 4246 ~

J. F. Moulder / 1995 / Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy / Physical Electronics, Inc

이 논문의 저자 정보

우종창

소속기관 대덕대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 37 이용수 144

최창욱

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 2 이용수 17

김창일

소속기관 중앙대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 89 이용수 457

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (16)

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)