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논문 기본 정보

자료유형
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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제14권 제4호
발행연도
2013.1
수록면
172 - 176 (5page)

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Microelectromechanical system switches are becoming more and more popular in the electronics industry; there is a need for careful selection of the materials in the design and fabrication of switches for reliability and performance issues. The membrane used for actuation to change the state of an RF switch is made mostly using gold or aluminum. Various designs of membranes have been proposed. Due to the flexure-type structures, the design complexity increases, which makes stress analysis mandatory to validate the reliability and performance of a switch. In this paper,the effective stress and actuation voltage required for different types of fixed-fixed membranes is analyzed using finite element modeling. Effective measures are presented to reduce the stress and voltage.
#RF MEMS #Effective stress #Finite element modeling #MEMS designing #Stress in Au and Al

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C. T. Nguyen / 1998 / / The 11th Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (Heidelberg) : 1 ~ google schola G. M. Rebeiz / 2003 / RF MEMS Theory, Design and Technology / John Wiley & Sons google schola H. C. Lee / 2005 / / Journal of Micromechanics and Microengineering 15 : 2098 ~ google schola J. B. Muldavin / 2000 / / IEEE Trans. Microw. Theory Techn 48 : 1053 ~ google schola K. E. Peterson / 1979 / / IBM J. Res. Develop 23 : 376 ~ google schola

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