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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.1
- 수록면
- 566 - 570 (5page)
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본 연구에서는 정전용량형 습도센서에서 상부전극의 전극 패턴의 영향을 고찰하기 위하여 반도체 단위공정을 이용하여 실리콘 기판 위에 5,000 Å 두께의 SiO2 산화막을 형성하고, 쉐도우 마스크를 이용하여 Ti 300 Å, 2,000 Å 백금의 하부전극을 형성하고, 하부전극위에 감습재료 폴리이미드를 균일하게 도포한 다음, 다양한 패턴의 마스크를 사용하여 Pt/Ti 구조의 상부전극을 형성하여 정전용량형 습도 센서를 제조하였다. 전극패턴은 원, 사각형과 삼각형이고, 원의 경우는 직경이 100 ㎛, 200 ㎛, 30 0㎛과 500 ㎛이었고, 사각형과 삼각형의 경우는 한 변의 길이가 100 ㎛, 200 ㎛, 300 ㎛과 500 ㎛로 하였으며, 패턴간의 간격은 모든 패턴에서 200 ㎛로 고정하였다. 면적이 더 넓은 사각형 패턴일 때 보다 원형 패턴일 때 정전용량값이 더 작아지는 경우도 있어서 정전용량형 습도센서를 제작할 때에는 패턴의 면적뿐만 아니라 패턴의 형태도 반드시 함께 고려해야 한다는 것을 확인할 수 있었다. 본 연구결과, 앞으로 정밀하고 정확한 정전용량형 습도센서 제작에 있어서 온도 센서를 같이 내장해서 습도센서를 제작하거나, 여러 개의 특성이 다른 센서를 이용하여 센서 어레이를 구현할 때 기반기술로 기대되어진다.
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