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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 185 - 190 (6page)
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본 연구에서는 RF magnetron sputter와 Thermal evaporator로 Ag 두께의 변화에 따라 증착한 IGZO, ZnO, AZO OMO 박막의 투과도 특성과 에너지 밴드갭의 변화를 연구하였다. 기판은 corning 1737 유리 기판을 사용하였고, 박막 증착 조건으로 초기 압력 2.0×10-6 Torr, 증착압력 6.0×10-3 Torr, 반응가스 Ar 25 sccm, 증착온도는 실온으로 고정하였으며, RF 파워는 30 W로 고정하였다. 공정변수로는 Ag 두께를 3 nm~15 nm까지 2 nm 단위로 증가시켰다. XRD 분석결과 IGZO OMO는 Bragg`s 법칙을 만족하는 피크가 나타나지 않는 비정질 구조임을 확인할 수 있었다. ZnO, AZO OMO의 경우는 34° 부근에서 [002]면의 피크가 측정되어 결정질임을 확인하였다. 투과도 특성은 가시광영역에서 평균 75% 적외선 영역에서 평균 20%의 투과도를 보였다. 에너지 밴드갭의 경우 Ag두께가 증가할수록 감소하였으며 이는 투과도의 저하로 나타났다.
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