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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제28권 제7호
발행연도
2015.1
수록면
428 - 432 (5page)

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Zn2-2xSi1+xO4 (x=0∼0.10) 세라믹스의 소결 및 마이크로파 유전 특성에 대해서 연구하였다. x=0조성 및 x=0.05조성에서 각각 ZnO 및 SiO2가 2차상으로 관찰되었다. Zn2SiO4의 조성은 x=0.02, 즉 Zn1.96Si1.02O4에 가까울 것으로 판단되며, 이 때 Zn/Si는 1.922이다. x=0 조성에서 충분한 입자성장이 일어나지 않은데 반하여, x=0.05 이상의 조성에서는 액상생성에 의한 입자성장이 관찰되었다. 마이크로파 영역에서의 품질계수(Q×f)는 x값(Zn/Si)의 영향을 받지만, 유전상수는 x값과 무관하였다. 1,400℃에서 소결한 x=0.05 조성 (Zn1.9Si1.05O4)의 상대밀도, 유전상수 및 품질계수는 각각 96.5%, 6.43 및 115,166 GHz였다.

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