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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제12호
발행연도
2012.1
수록면
1,009 - 1,014 (6page)

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본 연구를 통해 개발되어진 실리콘 이종접합 태양전지는 n형 결정질 실리콘 웨이퍼 위에 수소화된 비정질 실리콘층을 PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition)로 증착하여 형성하였다. 형성되어진 실리콘 이종접합 태양전지의 광학 및 구조 특성 분석을 위해서 분광 타원 편광 반사 측정법과 고해상도 투사전자현미경을 사용하였고, 유효 소수 캐리어 수명을 측정하기 위해서 QSSPC (Quasi-Steady-State Photocoductance)를 사용하였다. 이때 분석을 바탕으로 수소화된 비정질 실리콘 order와 이종접합 계면에서의 패시베이션 특성에 대한 상관관계를 연구하였다. 위의 결과를 바탕으로 최적화되어진 수소화 비정질 실리콘층을 적용한 이종접합 태양전지에서 개방전압 637 mV를 달성하였다.

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