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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제16권 제2호
발행연도
2015.1
수록면
95 - 98 (4page)

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Organic polymer dielectric thin films of styrene and vinyl acetate were prepared by the plasma polymerizationdeposition technique and applied for the fabrication of an organic thin film transistor device. The structural propertiesof the plasma polymerized thin films were characterized by Fourier-transform infrared spectroscopy, X-ray diffraction,atomic force microscopy, and contact angle measurement. Investigation of the electrical properties of the plasmapolymerized thin films was carried out by capacitance-voltage and current-voltage measurements. The organic thinfilm transistor device with gate dielectric of the plasma polymerized thin film revealed a low operation voltage of -10V and a low threshold voltage of -3 V. It was confirmed that plasma polymerized thin films of styrene and vinyl acetatecould be applied to functional organic thin film transistor devices as the gate dielectric.

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