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논문 기본 정보

자료유형
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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제12권 제5호
발행연도
2011.1
수록면
222 - 225 (4page)

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Lead zirconate titanate (PZT) films were fabricated on Pt/Ti/SiO2/Si substrate by the sol-gel method using a sol containing poly(N-vinylpyrrolidone) (PVP). PVP in alkoxide solutions can suppress the condensation reaction in gel films during heat treatment, and increase the viscosity of alkoxide solutions. Single-phase PZT films as thick as 1 μm were deposited by repetitive coating with successive third-step heat treatments at 150℃, 350℃ and 650℃. After heat treatment, the films were crack free, and optically transparent. As a result, we demonstrated a PZT film with a PVP molar ratio of 0.5, which has a permittivity of 734, a dielectric loss of 0.042, a Pr of 40.5 μC/cm2 and an Ec of 156 kV/cm.
#Lead zirconate titanate #Thickness control #Poly #vinylpyrrolidone) #Sol-gel

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A. Masuda / / J. Appl. Phys. 34, 5154 google schola B. Noheda / / Appl. Phys. Lett. 74, 2059 google schola E. Hong / / J. Mater. Res. 15, 1284 google schola H. Adachi / / Appl. Phys. 60, 736 google schola H. Chen / / Appl. Phys. Lett. 67, 3411 google schola

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