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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제4호
발행연도
2013.1
수록면
289 - 293 (5page)

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투명 전도 산화물에 사용될 GZO 박막의 구조적, 광학적 그리고 전기적 특성을 연구하였다. GZO 박막은 RF magnetron sputtering 장비를 이용하여 corning 1737 유리 기판위에 증착하였다. 투명 전도 산화물에 대한 GZO의 최적의 특성을 찾기 위해 스퍼터링 과정에서 Ar gas를 40, 60, 80 그리고 100 sccm으로 다양하게 변화하였다. Reaction gas가 감소함에 따라 GZO 박막의 결정성은 향상되었고, 광학적 밴드갭은 증가하였다. 광학 투과도를 통해 Reaction gas의 변화와 무관하게 가시광 영역에서 80% 이상의 투과율을 나타내었다. Hall 측정 결과 모든 샘플에서 n타입 특성이 확인되었고, 전기적 특성은 reaction gas가 감소함에 따라 향상되었다. GZO 박막의 구조적, 광학적 그리고 전기적 특성은 Ga dopant 함량에 영향을 받는다.
#Ga-doped ZnO #Transparent conducting oxide #RF magnetron sputtering #Reaction gas

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