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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제4호
발행연도
2013.1
수록면
304 - 308 (5page)

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화합물 CIGS 태양전지의 윈도우층에 적용하기 위한 ZnO 박막을 인-라인 펄스 DC 스퍼터링을 이용하여 다양한 온도 조건에서 증착, 그 특성을 비교 분석하였다. 증착된 박막의 구조적, 광학적, 전기적 분석 결과로부터 보다 높은 온도 조건에서 낮은 박막 두께, 낮은 비저항, 높은 투과율 특성을 얻을 수 있었다. 투과율로부터 계산된 ZnO 박막의 에너지 밴드갭 또한 온도의 영향을 받으며, XRD 결과로부터 150 ℃ 이상의 온도에서 (111) peak 가 뚜렷해지면서 ZnO 박막의 결정성을 확인할 수 있었다.
#Cu #In #Ga)Se2 #CIGS) #Zinc oxide #ZnO) #Temperatures #In-line pulsed DC sputtering

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참고문헌 (7)

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