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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.24 No.4
- 발행연도
- 2015.7
- 수록면
- 90 - 95 (6page)
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The adsorption behavior of tris (dimethylamino)-cyclopentadienyl-zirconium (Cp-Zr) precursor using an in-situ attenuated total reflectance-Fourier transform infrared spectroscopy (ATR-FTIR) was studied. In attempt to improve the detection intensity of an adsorbed precursor, nanoparticles were uniformly distributed on the Ge ATR crystal surface employing the spray method. The absorption characteristics studies were carried out over the Ge crystal temperature in the range of 30∼50℃. Upon increasing the temperature, a reduction of absorption was observed. Based on the peak intensities of ATR-FT-IR spectroscopy, higher-ZrO₂ absorption efficiency occurs when the nano-particles are utilized compared to pure Ge crystal.
목차
I. Introduction
II. Experimental Section
III. Results and Discussion
IV. Conclusions
References
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
[단행본] - Martin Friz / 2003 / Optical Interference Coatings / Springer series in Optical Sciences : 105 ~ 130
[학술지(정기간행물)] - Sukanya Dhar / 2008 / / Bull. Mater. Sci 31 : 67 ~ 72
[학술지(정기간행물)] - Vijay Ramkrishna Chinchamlatpure / 2012 / / J. Modern Physics 3 : 69 ~ 73
[단행본] - Douglas A. Skoog / 2008 / Principles of Instrumental Analysis / Science Plus : 428 ~ 429
[학술지(정기간행물)] - Maria Antoaneta Bratescu / 2010 / / Appl. Surface Science 257 : 1792 ~ 1799
[학술지(정기간행물)] - Sukanya Dhar / 2008 / / Bull. Mater. Sci 31 : 67 ~ 72
[학술지(정기간행물)] - Vijay Ramkrishna Chinchamlatpure / 2012 / / J. Modern Physics 3 : 69 ~ 73
[단행본] - Douglas A. Skoog / 2008 / Principles of Instrumental Analysis / Science Plus : 428 ~ 429
[학술지(정기간행물)] - Maria Antoaneta Bratescu / 2010 / / Appl. Surface Science 257 : 1792 ~ 1799
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