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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.24 No.4
- 발행연도
- 2015.7
- 수록면
- 84 - 89 (6page)
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The base pressure and outgassing rate of a mild steel chamber were measured and compared to those of a stainless steel chamber. A combined sputter-ion and non-evaporable getter pump with a nominal pumping speed of 490 l/s generated the base pressure of 2.7×10<SUP>?11</SUP> mbar in the mild steel chamber and 1.2×10<SUP>?10</SUP> mbar in the stainless steel chamber. The rate-of-rise measurements show that the mild steel has an extremely low outgassing rate of 2.6×10<SUP>?13</SUP> mbar l s<SUP>?1</SUP> cm<SUP>?2</SUP>, which is about one-order of magnitude smaller than the outgassing rate of the stainless steels. Vacuum annealing of the mild steel at 850oC reduced the outgassing rate further to 8.8×10<SUP>?14</SUP> mbar l s<SUP>?1</SUP> cm<SUP>?2</SUP>, which was comparable to the outgassing rate of a heat treated stainless steel for extreme-high vacuum use.
목차
I. Introduction
II. Experimental
III. Results and Discussion
IV. Summary
References
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - L. W. Swanson / 2009 / / Adv. Imag. Electron Phys 159 : 63 ~
[단행본] - Karl Jousten / 2008 / Handbook of Vacuum Technology / Wiley-VCH : 735 ~
[학술지(정기간행물)] - Y. Ishimori / 1971 / / J. Vac. Soc. Jpn 14 : 295 ~
[학술지(정기간행물)] - J. Kamiya / 2013 / / Vacuum 98 : 12 ~
[학술지(정기간행물)] - P. A. Redhead / 2002 / / J. Vac. Sci. Technol. A 20 : 1667 ~
[단행본] - Karl Jousten / 2008 / Handbook of Vacuum Technology / Wiley-VCH : 735 ~
[학술지(정기간행물)] - Y. Ishimori / 1971 / / J. Vac. Soc. Jpn 14 : 295 ~
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