Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee; Do-Geun Kim

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자료유형: 학술저널

저자정보: Seunghun Lee (Korea Institute of Materials Science) Do-Geun Kim (Korea Institute of Materials Science)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.24 No.5

발행연도: 2015.9

수록면: 162 - 166 (5page)

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2015

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee , Do-Geun Kim Applied Science and Convergence Technology 2015.09 학술저널

2012

Roll-to-Roll Barrier Coatings on PET Film by Using a Closed Drift Magnetron Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Seunghun Lee , Jong-Kuk Kim , Do-Geun Kim 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2012.05 학술대회자료

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Linear ion beams have been introduced for the ion beam treatments of flexible substrates in roll-to-roll web coating systems. Anode layer linear ion sources (300 mm width) were used to make the linear ion beams. Oxygen ion beams having an ion energy from 200 eV to 800 eV used for the adhesion improvement of Cu thin films on PET substrates. The Cu thin films deposited by a conventional magnetron sputtering on the oxygen ion beam treated PET substrates showed Class 5 adhesion defined by ASTM D3359-97 (tape test). Argon ion beams with 1∼3 keV used for the ion beam sputtering deposition process, which aims to control the initial layer before the magnetron sputtering deposition. When the discharge power of the linear ion source is 1.2 kW, static deposition rate of Cu and Ni were 7.4 and 3.5 A/sec, respectively.

#Ion beam #Ion source #Sputtering #Surface treatment #Roll-to-roll

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[학술지(정기간행물)] - KYUNG WHA OH / 2002 / / Journal of Applied Polymer Science 84 : 1369 ~ 1379

[학술지(정기간행물)] - S. Laux / 1998 / / Thin Solid Films 335 : 1 ~ 5

[학술지(정기간행물)] - Woori Do / 2014 / / Materials Research Bulletin 58 : 164 ~ 168

[학술지(정기간행물)] - Min Zhou / 1999 / / Thin Solid Films 339 : 203 ~ 208

[학술지(정기간행물)] - Y.S. Kim / 2012 / / Appl. Surf. Sci 258 : 3903 ~ 3906

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