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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1993.9
- 수록면
- 384 - 390 (7page)
이용수
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A number of different thin-film analytical method using electron spectroscopies are reviewed and evaluated. Results from various kinds of films (e.g. superconductive, electron-emissive, amorphous, rare-earth containing, etc.) are given for illustration. The existing quantification problems from this technology and some approaches for solving them are also discussed.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Auger Electron Spectroscopy
3. Electron Energy Loss Spectroscopy
4. Total Current Spectroscopy
5. Surface Extended Energy Loss Fine Structure
6. Appearance Potential Spectroscopy
7. Existing Problems for Thin Film Analysis
8. Conclusion
References
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